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Mechanische Komponenten im Vakuum 3.1 Allgemeines Eine Vakuumanlage enthält eine Vielzahl unterschiedlicher Einzelbauteile wie z. B. Kammern, Pumpen, Messgeräte, Komponenten, Ventile, Durchführungen, Manipulatoren usw., die zu einer Einheit zusammengefügt werden müssen.